關(guān)于特種氣體去了解一下
發(fā)布時間：
2024-03-18
主要包括硅族氣體、鹵化物或鹵化物氣體、含硼、磷、砷特種氣體作為集成電路制造的關(guān)鍵材料，按照工藝步驟可分為：刻蝕氣體、CVD氣體、摻雜氣體、擴(kuò)散氣體、離子注入氣體、光刻膠印刷氣體。伴隨著下游產(chǎn)業(yè)技術(shù)的快速迭代，特種氣體的精細(xì)化程度持續(xù)提高，特別是在純度和精度方面，對特氣的要求持續(xù)提高。比如在純度方面，普通工業(yè)氣體要求在99.99%左右，但是在先進(jìn)制程的集成電路
主要包括硅族氣體、鹵化物或鹵化物氣體、含硼、磷、砷特種氣體作為集成電路制造的關(guān)鍵材料，按照工藝步驟可分為：刻蝕氣體、CVD氣體、摻雜氣體、擴(kuò)散氣體、離子注入氣體、光刻膠印刷氣體。伴隨著下游產(chǎn)業(yè)技術(shù)的快速迭代，特種氣體的精細(xì)化程度持續(xù)提高，特別是在純度和精度方面，對特氣的要求持續(xù)提高。比如在純度方面，普通工業(yè)氣體要求在99.99%左右，但是在先進(jìn)制程的集成電路制造過程中，氣體純度要求在6N（99.9999%）以上。等原子的氣體，以及氟碳?xì)怏w，種類繁多。
半導(dǎo)體工業(yè)常用的電子特氣如表1所示，在不同的工序需要不同的氣體。一般把氣體分為大宗氣體和特種氣體2種。大宗氣體一般是指集中供應(yīng)且用量較大的氣體，例如氧氣、氬氣、氫氣、氦氣、氮?dú)獾?。特種氣體主要有各種摻雜用氣體、外延用氣體、離子注入用氣體、刻蝕用氣體以及其他各種相關(guān)設(shè)備所使用的惰性氣體等。
電子特種氣體（簡稱電子特氣）是主要用于電子信息領(lǐng)域的一類特種氣體，廣泛應(yīng)用于集成電路制造領(lǐng)域和半導(dǎo)體照明領(lǐng)域。#半導(dǎo)體#
答：公司定位于綜合型氣體服務(wù)商，同步重點(diǎn)發(fā)展特種氣體和大宗氣體業(yè)務(wù)，持續(xù)加大特種氣體新品的研發(fā)力度，并積極做好大宗氣體的業(yè)務(wù)拓展。
由于下游應(yīng)用場景的逐步擴(kuò)展，特種氣體的品種也與日俱增，據(jù)公開發(fā)行可轉(zhuǎn)債募集說明書，現(xiàn)有單元特種氣體達(dá)260余種，按氣體可混性，又可配制成種混合氣，特種氣體是高科技應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的基本原材料，其中電子氣體在電子產(chǎn)品制程工藝中廣泛應(yīng)用于離子注入、刻蝕、氣相沉積等，電子半導(dǎo)體器件的性能優(yōu)劣與電子氣體的質(zhì)量息息相關(guān)。
下游半導(dǎo)體行業(yè)的迅速發(fā)展在規(guī)模上增加了電子氣體的需求，同時下游新工藝、新產(chǎn)品的不斷發(fā)展進(jìn)一步拓展電子氣體應(yīng)用領(lǐng)域，不斷創(chuàng)造電子氣體特別是電子特種氣體的新需求。我國電子特種氣體行業(yè)實(shí)現(xiàn)持續(xù)高速增長，行業(yè)成長性強(qiáng)。
特種氣體廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、化工、醫(yī)療、環(huán)保、高端裝備制造等領(lǐng)域。特種氣體按其應(yīng)用可分為電子特種氣體、醫(yī)療氣體、標(biāo)準(zhǔn)氣體、體、食品氣體、電光源氣體等，廣泛應(yīng)用于電子半導(dǎo)體、化工、醫(yī)療、環(huán)保、高端裝備制造等領(lǐng)域。目前，特種氣體的應(yīng)用領(lǐng)域及需求量正逐步擴(kuò)大，品種日增。據(jù)不完全統(tǒng)計(jì)，現(xiàn)有單元特種氣體達(dá)260個品種，按氣體可混性，又可配制成種混合氣，成為高科技領(lǐng)域及其他科學(xué)研究與技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域不可缺少的基本原材料。
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