關于特種氣體的特性都有哪些?
發(fā)布時間：
2024-03-11
根據(jù)，電子氣體是電子專用材料制造的重點產(chǎn)品，分為電子大宗氣體和電子特種氣體。電子大宗氣體與電子特種氣體在氣體品種及用量、應用環(huán)節(jié)、供應模式、合作期限、純度要求等方面存在本質(zhì)不同。電子大宗氣體和電子特種氣體在電子半導體領域的用量可通過在成本的占比看出。在集成電路制造、半導體顯示等生產(chǎn)環(huán)節(jié)更多、生產(chǎn)要求更嚴苛、制程更先進的細分領域，電子大宗氣體占全部氣體成本的比
根據(jù)，電子氣體是電子專用材料制造的重點產(chǎn)品，分為電子大宗氣體和電子特種氣體。電子大宗氣體與電子特種氣體在氣體品種及用量、應用環(huán)節(jié)、供應模式、合作期限、純度要求等方面存在本質(zhì)不同。電子大宗氣體和電子特種氣體在電子半導體領域的用量可通過在成本的占比看出。在集成電路制造、半導體顯示等生產(chǎn)環(huán)節(jié)更多、生產(chǎn)要求更嚴苛、制程更先進的細分領域，電子大宗氣體占全部氣體成本的比例更高。
工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)的基礎原材料，根據(jù)純度和性能要求不同，大致可分為大宗氣體和特種氣體兩大類。大宗氣體包括空分（氧氣、氮氣、氬氣等）和合成氣體（二氧化碳、氨氣、甲烷、乙炔等），主要應用于煉鋼、石油化工、機械制造等傳統(tǒng)領域，新能源產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展打開了合成氣體的新增長空間，其純度要求一般低于5N。特種氣體可分為標準、高純和電子特氣，其中電子特氣市場規(guī)模占比超60%，主要應用于集成電路、面板、LED、光伏電池領域，純度要求在5N及以上。
工業(yè)氣體是現(xiàn)代工業(yè)的基礎原材料，根據(jù)純度和性能要求不同，大致可分為大宗氣體和特種氣體兩大類。大宗氣體包括空分（氧氣、氮氣、氬氣等）和合成氣體（二氧化碳、氨氣、甲烷、乙炔等），主要應用于煉鋼、石油化工、機械制造等傳統(tǒng)領域，新能源產(chǎn)業(yè)高速發(fā)展打開了合成氣體的新增長空間，其純度要求一般低于5N。特種氣體可分為標準、高純和電子特氣，其中電子特氣市場規(guī)模占比超60%，主要應用于集成電路、面板、LED、光伏電池領域，純度要求在5N及以上。
工業(yè)氣體產(chǎn)品種類眾多，作用各異，根據(jù)應用領域的不同，又可分為醫(yī)療、激光、食品和電子氣體等，受益于國內(nèi)半導體、光伏電池等領域的高速發(fā)展，我國電子氣體產(chǎn)業(yè)呈現(xiàn)較高的成長性。廣義的電子氣體包含電子大宗氣體和電子特種氣體，前者指應用于電子產(chǎn)業(yè)的高純度(≥5N)、高性能的氮氣、氧氣、氫氣等大宗氣體，后者指用于芯片制造過程中的氟碳類、氟氮類、硅烷氣、、氫化物、光刻氣(稀有氣體)等高純(≥5N)特種氣體。
電子特種氣體(以下簡稱電子特氣)是指用于半導體及相關電子產(chǎn)品生產(chǎn)的特種氣體，幾乎滲透到芯片生產(chǎn)的每個環(huán)節(jié)，包括光刻、刻蝕、薄膜、摻雜等工藝，是電子行業(yè)的重要原材料被喻為，是僅次于硅片的第二大芯片材料領域，在芯片材料中占比約為。
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