一文淺析高純氣體輸送系統(tǒng)中氣體與管道的關(guān)系
發(fā)布時(shí)間：
2021-12-13
高純氣體管道技術(shù)是供應(yīng)系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送到燃?xì)獾昃S持質(zhì)量的關(guān)鍵技術(shù)。它包括系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、配件和附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等。近年來，以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的要求越來越嚴(yán)格，對(duì)高純氣體的管道技術(shù)越來越受到關(guān)注和重視。
高純氣體管道技術(shù)是供應(yīng)系統(tǒng)的重要組成部分，是將符合要求的高純氣體送到燃?xì)獾昃S持質(zhì)量的關(guān)鍵技術(shù)。它包括系統(tǒng)的正確設(shè)計(jì)、配件和附件的選擇、施工安裝和試驗(yàn)測(cè)試等。近年來，以大規(guī)模集成電路為代表的微電子產(chǎn)品對(duì)高純氣體的純度和雜質(zhì)含量的要求越來越嚴(yán)格，對(duì)高純氣體的管道技術(shù)越來越受到關(guān)注和重視。
半導(dǎo)體氣體多對(duì)人體有害。特別是一些氣體，如SiH4的自然燃燒性，一旦泄漏，就會(huì)與空氣中的氧氣劇烈反應(yīng)，開始燃燒。還有AsH3的毒性。輕微的泄漏會(huì)危及一個(gè)人的生命。也就是說，由于這種明顯的危險(xiǎn)，對(duì)系統(tǒng)設(shè)計(jì)的安全性要求特別高。
高純氣體的適用范圍
氣體產(chǎn)品是現(xiàn)代工業(yè)的重要基礎(chǔ)原料，應(yīng)用范圍非常廣泛，冶金、鋼鐵、石油、化工、機(jī)械、電子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、醫(yī)藥等部門都使用大量普通氣體或特殊氣體。氣體應(yīng)用尤其對(duì)該領(lǐng)域的尖端技術(shù)有重要影響，是其不可缺少的原料氣體或工藝器。只有各種新興工業(yè)部門和現(xiàn)代科學(xué)技術(shù)的需要和推動(dòng)，氣體工業(yè)產(chǎn)品才能在品種、質(zhì)量、數(shù)量等方面突飛猛進(jìn)。在微電子和半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中的應(yīng)用
氣體的使用在半導(dǎo)體工藝中發(fā)揮了重要作用。特別是半導(dǎo)體工藝目前被廣泛應(yīng)用于各產(chǎn)業(yè)。從傳統(tǒng)的ULSI、TFT-LCD到現(xiàn)在的微機(jī)械(MEMS)產(chǎn)業(yè)，都以所謂的半導(dǎo)體工藝作為產(chǎn)品的制造過程。其中工藝包括干燥刻蝕、氧化、離子捕集、離子捕集、
高純管道在高純氣體輸送中的重要性
不銹鋼冶煉材料過程中每噸可吸收約200克氣體。加工完成后，不僅表面附著著各種污染物，金屬晶格內(nèi)也會(huì)吸收一定量的氣體。氣流通過管道時(shí)，金屬吸入的這部分氣體再次進(jìn)入氣流。當(dāng)管內(nèi)氣流為不連續(xù)流動(dòng)時(shí)，管道對(duì)通過的氣體施加壓力吸附，停止通過時(shí)，管內(nèi)吸附的氣體又形成脅迫分析，解釋的氣體也作為雜質(zhì)進(jìn)入管內(nèi)純氣體。與此同時(shí)，隨著吸附、分析周期的重復(fù)，管內(nèi)表面金屬也會(huì)產(chǎn)生一定的粉末，這些金屬塵埃粒子也會(huì)污染管內(nèi)的純氣體。管道的這種特性不僅需要管道內(nèi)部表面非常高的柔軟度，還需要更高的耐磨性來保證輸送的高純氣體的純凈性。
相關(guān)新聞
Copyright ? 2023 南通開發(fā)區(qū)添益氣體有限公司
0513-85918459